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2
测力称重传感器测量技术
来源:
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作者:
pengoocn
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发布时间:
2020-11-17
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687
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测力传感器分为箔变形系、微型电机系统,其优点是锡箔变形系体积小,具有多种测量模式和温度补偿功能,变形系生产成本低,安装方式灵活、平坦、弯曲或有槽可以设置在表面,可以设置在包括它在内的孔的表面,因此适合各种创新的设计要求。这是目前应用最广泛的选择,微型电机系统(MEMS)是该领域最新的技术,MEMS是由柱状、隔膜型或板型腐蚀的微型硅胶部件,可以在检测部件中发挥传感器的功能,集成电路的制造工艺和类似,MEMS也是通过整体及表面微加工技术制造出来的,MEMS在集成电路的单片芯片上加工了数千个压力传感器部件,虽然该传感器可以用很低的费用大量生产,但是与哺乳变形系统相比,其应用范围是仍然是非常有限的,MEMS在医疗领域中,在成本低、产量高(数百万以上)的一次性产品中使用的最多,例如测量一次性血压传感器和胶囊管压力的血管整形装置。
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